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激光式位移傳感器

常用的高精度激光式位移傳感器主要是采用激光三角測量法原理制成的，激光發射器將激光射向被測物體表面，位移傳感器內部的線性相機接受經物體反射回來的激光，通過內部數字信號處理器計算出傳感器和被測物體之間的距離。測量范圍為0~2m；測量精度達到0.2μm/m；線性度達到0.1%，優點是非接觸、結構簡單、抗干擾，適應性強、速度快等；缺點是測量成本高、對環境要求高等。